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齒輪泵由泵體，前后泵蓋及在泵體內互相嚙合旋轉的一對齒輪組成。在使用中對污物不敏感，工作可靠。它的主要熱處理零件有齒輪、泵軸及泵體等。
齒輪泵齒輪在工作時，除與機械傳動齒輪一樣其齒面受到脈動接觸應力和摩擦力作用，齒根受到脈動彎曲應力作用外，整體還受到彎曲疲勞應力作用。為保證泵的性能和使用壽命，齒輪必須具有高的強度和高耐磨性。
液壓泵齒輪的制造工藝路線安排多是經滾齒、剃齒后進行熱處理，熱處理后齒面不再進行精加工，這就要求在熱處理過程中不能出現氧化，因而采用爐內油淬的可控氣氛爐。有時在滾齒后進行熱處理，在這種情況下，可采用井式爐進行滲碳，在油淬前的轉移過程中有少量氧化脫碳。
軸是傳遞轉矩的零件，工作中受到沖擊扭轉應力和液壓力產生的彎曲疲勞應力作用。軸頸部分還承受磨損。因此泵軸應具有較高的強度和硬度，同時具有良好的韌性。當軸與齒輪做成一體時，則與齒輪材料相同。
隨著齒輪泵壓力的提高，鑄鐵材料已不能滿足要求。特別是在液壓力作用下，齒輪被推向低壓油腔一側，齒頂與泵體接觸產生刮研，泵體材料采用變形鋁合金或鑄鋁合金，需經固溶處理并有效強化。